モニタリング

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973-IMM-100

高精度な速度・厚みモニタリングで利益を確保し、成長させる

NFICONのModeLock技術は最長の振動子寿命を提供し、非常に低いレートでも、最も安定した、最も高い解像度のレートと膜厚計測が可能なようにします
可能な限り最高のQCM膜厚計測で歩留まりを最大化
コストを最小限に抑えるため、不必要な機能を追加しないシングルチャンネルレートと膜厚モニター

977-IMM-200

高精度な速度・厚みモニタリングで利益を確保し、成長させる

INFICONのModeLock技術は最長の振動子寿命を提供し、非常に低いレートでも、最も安定した、最も高い解像度のレートと膜厚計測が可能であることを保証します。
可能な限り最高のQCM膜厚計測で歩留まりを最大化

969-SQM-160

蒸着モニター

SQM-160は、実績あるINFICONの水晶振動子センサ技術を使って、薄膜蒸着プロセスにおける蒸着速度と膜厚を計測します。

標準構成で2つの計測チャンネル、オプションで4つ追加可能
蒸着速度/膜厚のアナログ信号出力
高分解能オプション：毎秒10回読み取りで0.03Hz
RS-232 標準、USB またはイーサーネットオプション

981-STM-2

STM-2 USB 薄膜蒸着速度/膜厚モニター

STM-2は、USB接続の簡単さと、高精度測定エンジンの正確性を、小型で低価格のパーケージに組み合わせています。

STM-2 USB 薄膜蒸着レート/膜厚モニター

低価格の装置
USB接続
内部発振器
1秒あたり10回測定する高精度

955-TDMAT-Sensor

前駆体モニター用SemiQCM™ SRセンサー

高精度なレートと膜厚のモニタリングで利益を保護し成長させる
SemiQCM™ SRセンサはプリカーサモニタリングシステムの1つで、他のコンポーネントはIMM-200とFabGuard（バージョン19.12.00-aまたはそれ以上）です。

前駆体モニター用SemiQCM™ SRセンサー

リアルタイム、in situプロセスモニタリング
オーバーエッチングの防止、チャンバークリーニングエンドポイントの特定
装置またはプロセス状態の不具合の特定

963-SemiQCM-CR-Sensor

前駆体モニタリング用SemiQCM™ CRセンサー

高精度な速度・厚みモニターで利益を守り成長させる

前駆体モニタリング用SemiQCM™ CRセンサー

リアルタイム、in situプロセスモニタリング
オーバーエッチングの防止、チャンバークリーニングエンドポイントの特定
装置またはプロセス状態の不具合の特定

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